Schnellkontakt - AP Microelectronics

Igor Eichinger
Category Manager Microelectronics

intelligent fluids GmbH
Karl-Heine-Straße 99, 04229 Leipzig

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Enabling the Post-Solvent Era

Dank intelligent fluids® schließen sich der Einsatz sanfter, umwelt- und substratschonender Inhaltsstoffe und eine herausragende Performance nicht länger aus. Die einzigartige, patentierte Technologie der intelligent fluids® läutet eine neue, lösungsmittelfreie Ära im Bereich der Materialseparierung und Oberflächenentschichtung ein.

Intelligent fluids® vereinen Funktionalität und Nachhaltigkeit: Technische Abläufe können dank intelligent fluids® vereinfacht und optimiert werden. Gleichzeitig sind intelligent fluids® ressourcenschonend und biologisch abbaubar.

Die einfache Handhabung, ein geringerer Verbrauch und der reduzierte Einsatz von Energie führen zu teilweise erheblichen Prozesskosteneinsparungen.

Anwendungsbeispiele

Equipment Cleaning

Entfernung von Fotolacken auf Maschinenteilen
z.B. Catch Cups, Chambers, Furnaces, Parts

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Metal Lift-Off

Entfernung von Metallschichten auf Wafern (Metal Lift-off)
z.B. MEMS, LED, BEOL

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Photoresist Stripping

Entfernung von Fotolacken auf Wafern und Fotomasken, vor allem im Back-End of Line (BEoL)
in Verbindung mit Kupfer- Substraten oder weiteren Metallisierungen
z.B. FEOL, BEOL, BE, Photo Mask Applications

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Adhesive Removal

Entfernung von Klebstoff-Rückständen auf unterschiedlichen Substraten
z.B. Flat Panel Display, Temporary Bonding

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Intelligent fluids® bieten überzeugende Lösungen in einer Vielzahl von Anwendungsbereichen. Kontaktieren Sie uns gern persönlich, um sich für mögliche Applikationen beraten zu lassen und fordern Sie die intelligent fluids® mit Ihren individuellen Aufgabenstellungen heraus. Wir finden eine smarte Lösung.

Förderprojekte

Die intelligent fluids GmbH lebt Innovation und Fortschritt. Seit der Gründung gehört die Teilnahme an einer Vielzahl nationaler und internationaler Forschungsprojekte zum fundamentalen Selbstverständnis des Unternehmens, um so konsequent an der Bewältigung der Herausforderungen der Zukunft mitzuwirken. Hier finden Sie eine detaillierte Übersicht aktueller und vergangener Vorhaben.

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