Schnellkontakt - AP Microelectronics

Igor Eichinger
Category Manager Microelectronics

intelligent fluids GmbH
Karl-Heine-Straße 99, 04229 Leipzig

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Patentierte Technologie – Nass-Physik statt Nass-Chemie

Trotz erheblicher Risiken und zahlreicher Nachteile werden bei der Entschichtung oder der Entfernung von Rückständen noch immer lösungsmittelbasierte und aggressive Chemikalien verwendet – bis jetzt! Intelligent fluids® sind Vorreiter und Wegbereiter und setzen dank ihrer einzigartigen Technologie neue Trends. Giftige, umweltschädliche Chemikalien waren gestern – intelligent fluids® sind das Heute.

In den hochsensiblen Bereichen der Mikroelektronik und Halbleiterindustrie werden maximale Qualitätsansprüche an die Beseitigung von Kontaminationen oder die Entfernung verschiedener Beschichtungen gestellt. Intelligent fluids® sind in der Lage, im Prozess der Wafer-Fertigung professionell zu entschichten und Equipment von Lacken und hartnäckigen Verunreinigungen zu befreien – ganz ohne aggressive Lösungsmittel. Die patentierte Technologie bewirkt das Fragmentieren und Unterwandern von anhaftenden organischen Schichten und hebt sie anschließend schonend ab – ohne dabei die sensiblen Oberflächen anzugreifen.

Eigenschaften

Die hochwirksamen intelligent fluids® überzeugen durch signifikante Vorteile: Sie reinigen nicht nur innovativ und hocheffektiv bei gleichzeitiger Prozesskosteneinsparung, sondern schonen dabei auch Equipment, Umwelt und Mensch.

Patentierte Technologie – Nass-Physik statt Nass-Chemie

Leistungsmerkmale

  • hochdynamische Flüssigkeiten mit molekularem Teamwork
  • maßgeschneidertes Produktdesign aus bewährten, unbedenklichen Inhaltsstoffen
  • schonendes, physikalisches Abheben statt aggressivem, chemischem Auflösen
  • bestens geeignet für organische Schichten auf anorganischen Substraten
  • breites Einsatzgebiet durch polyphile Eigenschaften (öl- und wasserliebend)
  • einfache Entsorgung durch klassische Spülprozesse mit Wasser oder Alkohol
Patentierte Technologie – Nass-Physik statt Nass-Chemie
intelligent fluids®: Lift-off Effect

Technologiepartner

Frauenhofer CNT
Frauenhofer CSP
Uni Leipzig
MLU
HTWK
HS Merseburg
imec

Vertriebspartner

STC
TELTEC
TKM
Fast Gate
Heidelberg
Kerona
Hightech Solutions Inc.

Anwendungspartner

APundS