Schnellkontakt - AP Microelectronics

Igor Eichinger
Category Manager Microelectronics

intelligent fluids GmbH
Karl-Heine-Straße 99, 04229 Leipzig

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Patentierte Technologie – Nass-Physik statt Nass-Chemie

Trotz erheblicher Risiken und zahlreicher Nachteile werden bei der Entschichtung oder der Entfernung von Rückständen noch immer lösungsmittelbasierte und aggressive Chemikalien verwendet – bis jetzt! Intelligent fluids® sind Vorreiter und Wegbereiter und setzen dank ihrer einzigartigen Technologie neue Trends. Giftige, umweltschädliche Chemikalien waren gestern – intelligent fluids® sind das Heute.

In den hochsensiblen Bereichen der Mikroelektronik und Halbleiterindustrie werden maximale Qualitätsansprüche an die Beseitigung von Kontaminationen oder die Entfernung verschiedener Beschichtungen gestellt. Intelligent fluids® sind in der Lage, im Prozess der Wafer-Fertigung professionell zu entschichten und Equipment von Lacken und hartnäckigen Verunreinigungen zu befreien – ganz ohne aggressive Lösungsmittel. Die patentierte Technologie bewirkt das Fragmentieren und Unterwandern von anhaftenden organischen Schichten und hebt sie anschließend schonend ab – ohne dabei die sensiblen Oberflächen anzugreifen.

Eigenschaften

Die hochwirksamen intelligent fluids® überzeugen durch signifikante Vorteile: Sie reinigen nicht nur innovativ und hocheffektiv bei gleichzeitiger Prozesskosteneinsparung, sondern schonen dabei auch Equipment, Umwelt und Mensch.

Patentierte Technologie – Nass-Physik statt Nass-Chemie

Leistungsmerkmale

  • hochdynamische Flüssigkeiten mit molekularem Teamwork
  • maßgeschneidertes Produktdesign aus bewährten, unbedenklichen Inhaltsstoffen
  • schonendes, physikalisches Abheben statt aggressivem, chemischem Auflösen
  • bestens geeignet für organische Schichten auf anorganischen Substraten
  • breites Einsatzgebiet durch polyphile Eigenschaften (öl- und wasserliebend)
  • einfache Entsorgung durch klassische Spülprozesse mit Wasser oder Alkohol
Patentierte Technologie – Nass-Physik statt Nass-Chemie
intelligent fluids®: Lift-off Effect

Technologiepartner

Frauenhofer CNT
Frauenhofer CSP
Uni Leipzig
MLU
HTWK
HS Merseburg
imec
Universität Regensburg
Technische Universität Bergakademie Freiberg
Technische Universität Dresden
Friedrich Schiller Universität Jena

Vertriebspartner

STC
TELTEC
TKM
Heidelberg
Kerona
Hightech Solutions Inc.

Anwendungspartner

APundS