Schnellkontakt - AP Microelectronics

Igor Eichinger
Category Manager Microelectronics

intelligent fluids GmbH
Karl-Heine-Straße 99, 04229 Leipzig

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機器クリーナー

機器クリーナー

  • -半導体やディスプレイ産業で様々な有機不純物を除去します(脱気チャンバー洗浄、炉洗浄、一般的なコーターの洗浄)。
  • コーターのキャッチカップに堆積した厚さ数センチメートルのフォトレジスト層の除去にも適しています。
  • 資源節減にもなる低いプロセス温度、20°Cから40°Cでも効果を発揮します。
  • 水でも十分にすすぎが可能です。
  • 例えばNMP、アセトンなどの溶剤を、機能面と信頼性を両立しながら代替します。


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