Schnellkontakt - AP Microelectronics

Igor Eichinger
Category Manager Microelectronics

intelligent fluids GmbH
Karl-Heine-Straße 99, 04229 Leipzig

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特許技術 - 湿式化学に代わる湿式物理学

非常に大きなリスクと数々の欠点にもかかわらず、ダメージを与える恐れのある溶剤系化学物質が使用されていますが、それも昔のことです!Intelligent fluids®はパイオニアとして独自の技術で新しいトレンドを生み出しました。環境に有害で毒性のある化学物質は過去のもの、今はIntelligent fluids®の時代です。

マイクロエレクトロニクスと半導体という極めて微細な分野では、汚染物、様々な膜の除去に最高の品質が要求されています。Intelligent fluids®では、ウェハー製造時のストリッピング、固着した膜や汚染物を除去することが可能です。しかもダメージを与える恐れのある溶剤を全く使用していません。特許技術によって付着した有機層に分散、浸透し、マイルドに剥離しますが、繊細な表面にダメージを与えることがありません。
特徴

特長

高性能なIntelligent fluids®には著しい利点があります。革新的、高性能に洗浄してプロセスのコストを削減するだけではなく、設備、環境、人にもやさしいものです。

特許技術 - 湿式化学に代わる湿式物理学

性能の特徴

  • 分子のチームワークをもつ非常にダイナミックな液体
  • 実績のある、安全な成分からオーダーメードした製品設計
  • sダメージを与える化学的な溶解に代わって、物理学的にやさしく剥離
  • 無機基材上の有機層にも使用可能
  • 多親和性(親油性、親水性)のため用途が広範囲
  • すすぎには、水やアルコールを使用。処理が簡単
特許技術 - 湿式化学に代わる湿式物理学
intelligent fluids®: Lift-off Effect

テクノロジーパートナー

Frauenhofer CNT
Frauenhofer CSP
Uni Leipzig
MLU
HTWK
HS Merseburg
imec
Universität Regensburg
Technische Universität Bergakademie Freiberg
Technische Universität Dresden
Friedrich Schiller Universität Jena

販売パートナー

STC
TELTEC
TKM
Heidelberg
Kerona
Hightech Solutions Inc.

Anwendungspartner

APundS